氮化碳基薄膜制备及其水溶液中的摩擦学特性研究

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【摘要】

：

采用离子束辅助沉积制备氮化碳基薄膜如BCN、SiCN及a-CNx薄膜,采用红外光谱、拉曼光谱及X-射线光电子能谱表征了薄膜的化学键态、结构及成分,通过纳米压痕仪测试了薄膜的硬度和弹性模量,利用非接触式三维形貌仪测试了薄膜的表面粗糙度,同时,研究了氮化碳基薄膜在水基溶液中的摩擦学特性,并采用三维视频显微镜和光学显微镜表征了对摩球和a-CNx薄膜的磨痕,利用非接触式三维形貌仪观察了a-CNx薄膜磨痕的

【作者】

：

岳宾

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2009年03期

【关键词】

：

氮化碳基薄膜化学键态表面粗糙度纳米压痕水基溶液摩擦磨损

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