化学溶液沉积技术(CSD)制备钼酸盐薄膜及其工艺研究

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化学溶液沉积技术(Chemical Solution Deposition)是一种从溶液中制备薄膜材料的方法。目前这一技术被广泛的应用于功能薄膜材料的制备。与固相法相比,化学溶液沉积技术(CSD)制备功能材料拥有下面几个优点:能够精确的控制化学计量比,均一性好,成本低,材料的利用率高,能源消耗低,还可以对所合成材料颗粒的大小,形状和取向等可以进行较好的控制。本论文研究工作旨在尝试近室温条件下在化学溶液中一步合成钼酸盐,采用旋涂技术在任意衬底上实现钼酸盐的薄膜化。主要研究了白钨矿结构的
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