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气体流量装置的能力提升及微小音速喷嘴流出特性研究

来源 :河北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aa654518

【摘 要】

：

随着半导体、医药、化工、环境以及航天事业的不断发展,测量微小气体流量的准确度要求越来越高,各种微小流量计发展迅猛。在各种微小气体流量计中,微小音速喷嘴因无可动部件、准确度水平高、重复性好及流量不受下游条件干扰等优点,在国内外气体流量计量领域,广泛将音速喷嘴作为标准表对其它类型的流量计进行校准和量值传递。近年来,喉部直径小于1 mm的微小音速喷嘴的应用越来越多,但其几何形状很难满足国际标准ISO 9

【作 者】

：

高山 

【出 处】

：

河北大学

【发表日期】

：

2019年08期

【关键词】

：

pVTt法气体流量装置 音速喷嘴 流出系数 量值溯源 数值模拟 

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