氯甲基三氯硅烷（ClCH₂SiCl₃），是一种重要的有机氯硅烷，可以制备一系列α-官能团硅烷偶联剂，如氯甲基三乙氧基硅烷ClCH₂Si（OCH₃）₃。氯甲基三氯硅烷是以一甲基三氯硅烷（CH₃SiCl₃）为原料，在光的催化下经氯化而成。 本文采用Cl₂为氯化剂，在可见光（白炽灯）催化下，气相法合成ClCH₂SiCl₃。研究了光源特性（如光源强度，波长范围），反应条件（如反应温度，反应时间，物料分离参数，反应器材质及壁厚，Cl₂通量），及合成工艺等对光氯化反应的影响，从而确定了氯化反应所需要的能量及反应参数，并且从理论上对反应机理，，特性进行了论述。 对反应机理的研究，可以使我们明确研究方向，找出影响反应的主要因素。对合成方法的研究，可以提高反应的选择性和收率，降低副产物的生成。 采用该工艺得到的ClCH₂SiCl₃，其收率可达到80％以上，并有效的降低了多氯代物的生成。该工艺经过了中试装置的放大，小试得到的结果在中试装置上得到了验证，放大效应较好。