作为对微机电系统物理行为模拟的一种重要手段,动特性分析在微机电系统设计过程中起到了非常关键的作用.该文针对MEMS动特性建模与仿真过程中的多能量域与非线性等特点,提出一种采用键合图/框图混合模型进行MEMS系统建模与仿真的方法.并在该方法的基础上开发了相应的软件原型系统.对于MEMS系统级动特性仿真,该文在键合图场理论的支持下建立集中参数表达的键合图模型对微机电系统器件行为进行描述,并在此基础上建立了一个包含电致热阻器、梁、质量块、静电叉指等元器件在内的MEMS动特性仿真元件库,以此来更好的支持MEMS结构化设计.同时,基于设计空间映射理论的MEMS动特性仿真模板的建立也进一步为MEMS再设计过程提供了方便.对于MEMS器件级动特性仿真,该文提出了一个利用键合图分布参数模型对键合图元器件进行有限网格描述的建模方法.由于器件级仿真与系统级仿真统一采用键合图模型进行表达,因而系统级仿真所需要的器件行为模型的提取变得十分简单,从而能够得到更为精确的仿真结果.此外,包括时域/频域分析、仿真优化在内的仿真后处理为MEMS仿真结果解释、系统性能预测与评价、系统结构改进提供了保证.最后经过仿真实例的验证,建模过程与仿真结果都很好的验证了键合图法是一个非常有效的MEMS动特性仿真方法.