电化学加工(Electrochemical machining,ECM)利用金属在电解液中发生阳极溶解的原理,将工件材料以离子的形式去除掉。这种加工方式使其在微细加工领域有着很大的发展潜能,而且具有加工表面质量好、工具无损耗、无接触应力、与零件材料硬度无关等优点。成为航空航天、兵器制造等国防工业生产中的关键技术之一。本论文对微细电解加工中一些关键技术进行了研究,如微细电解加工的机理、微细工具电极的制备、高频微能脉冲能量电源的研制、微细电解加工过实验等工作。本文应用电化学加工双电层的模型,利用电极暂态过程研究纳秒脉冲微细电化学加工机理。根据法拉第定律和电化学极化的Butler-Volmer方程,描述了纳秒脉冲微细电解加工的等效回路模型。根据对微细电解加工等效回路模型的研究,设计了纳秒级微能脉冲电源。以CPLD、MOSFET等为主要芯片设计了脉冲控制电路、光耦隔离和MOSFET驱动电路、波形调节单元、脉冲电压调节单元等,获得了符合加工要求的输出脉冲波形。在此基础上开展了微细电化学加工微小孔试验。研究了工具电极制备、电解液、极间间隙以及电源参数等对加工质量的影响。