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在科研和生产各个领域,随着高精度的尺寸测量以及应用在柔性定位跟踪系统等各种的需要,激光干涉仪因为其突出的性能和特点,已经在越来越多的领域广泛使用。本文在臧艳芬、刘海宁博士工作的基础上,对新型的双光路激光干涉测长仪进行了研究,着力于使其产品化,更便于实际应用。论文的主要工作包括:1.论述了这种新型激光干涉测长仪的工作原理及特点。在测量中测头能从工件的一端移到另一端而不丢光;光路上能补偿因测头系统发生倾斜而造成的阿贝误差。2