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真空电弧沉积薄膜是近年来发展起来的高技术薄膜制备方式之一,但由于宏观颗粒的存在,限制了它向更广泛应用领域的发展.针对这种现状,该文以宏观颗粒为对象,对宏观颗粒的产生、输运、抑制办法等方面,从理论和实验上进行了研究.
真空电弧过滤沉积技术的理论和实验研究
【摘 要】
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真空电弧沉积薄膜是近年来发展起来的高技术薄膜制备方式之一,但由于宏观颗粒的存在,限制了它向更广泛应用领域的发展.针对这种现状,该文以宏观颗粒为对象,对宏观颗粒的产生、输运、抑制办法等方面,从理论和实验上进行了研究.
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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华中理工大学
【发表日期】
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2000年期
【基金项目】
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