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高气压MPCVD法制备高质量金刚石的研究

来源 :武汉工程大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：as55059550

【摘 要】

：

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【作 者】

：

梁天 

【出 处】

：

武汉工程大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

微波等离子体 化学气相沉积 预处理 单晶外延 

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