螺杆真空泵应用广泛,其极限真空度高,抽速范围宽,泵腔内部无油,结构紧凑,转子与转子之间没有接触,能够抽除含有一定粉尘的气体。本文对抽速为70L/s螺杆真空泵进行研究,分析了转子的几何特性,解决了转子的动平衡问题,根据转子变形设计间隙,完成真空泵结构设计。本文主要完成的工作如下:根据螺杆转子端面型线的生成原理和设计原则,说明了现有的螺杆转子端面型线的啮合特点,研究了转子的几何特性,分析了面积利用系数与端面型线尺寸的关系,最终确定抽速为70L/s的螺杆真空泵的基本形式。基于理论力学和机械原理有关的知识,计算了螺杆转子的不平衡质径积,分析了转子不平衡质径积与转子长度、配重面位置的关系。建立螺杆转子配重平衡计算的方程,运用MATLAB数值计算求解非线性方程组,根据计算结果建立相应的三维模型,转子质量属性表明配重法有效地实现了螺杆转子的动平衡。建立螺杆转子热力耦合有限元模型,研究螺杆转子在一定条件下的轴向和径向变形情况,得到转子表面沿特定螺旋线的变形情况并由此计算转子的变形值。结合转子啮合的特点,最终确定转子与转子之间、转子与泵腔之间的间隙值。分析了螺杆真空泵吸排气的过程,计算了排气过程消耗的功率,对进气口和排气口的形状进行设计。对螺杆真空泵内部常用的零部件进行分析比较,确定其基本形式。计算了左旋和右旋转子的一阶临界转速,在此基础上对螺杆转子进行配重平衡计算,比较配重前后转子的质量属性并对其动力学特性进行分析。