【摘 要】
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该文首先综述了国内外非球曲面超精密磨床及其各种关键技术的发展概况,并对脆性材料超精密磨削加工的研究现状进行了比较全面的总结.然后在详细分析了各种加工误差对零件轮廓
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该文首先综述了国内外非球曲面超精密磨床及其各种关键技术的发展概况,并对脆性材料超精密磨削加工的研究现状进行了比较全面的总结.然后在详细分析了各种加工误差对零件轮廓精度及表面粗糙度影响的基础上,成功地研制了能加工小口径、大深度内凹非球曲面的超精密磨削系统,并针对该非球曲面磨削系统提出了一种新的非圆曲线插补算法"双圆弧步长伸缩数控插补法"再者,该文通过对脆性材料的压痕实验,研究了脆性材料在外力作用下的变形方式及产生的裂纹类型.该文以单晶硅表面的压痕形貌为基础,分析了砂轮在实际磨削时单个磨粒与工件的接触情况,阐述了脆性材料在静、动态载荷作用下断裂特性的变化情况.从砂轮与工件的接触状态着手进行了分析,建立了超精密磨削加工时单个磨粒的几何模型,推导了单个磨粒最大切削深度值的计算公式,并用原子力显微镜(AFM)对已加工表面的微观形貌进行了观察.最后,该文对脆性材料的超精密磨削加工作了大量的实验研究.
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