【摘 要】
:
本论文以铜线键合为研究对象,观察了键合界面微观界面特性,确定了键合界面化合物成分,分析了键合界面化合物形成机理,探索了铜线键合过程中键合温度、键合超声能量、芯片铝膜
论文部分内容阅读
本论文以铜线键合为研究对象,观察了键合界面微观界面特性,确定了键合界面化合物成分,分析了键合界面化合物形成机理,探索了铜线键合过程中键合温度、键合超声能量、芯片铝膜厚度对键合强度的影响,针对铜线键合在芯片悬臂键合过程中存在着大冲击、大回弹的动态特性和铜线键合点低强度的问题,提出了使用2.8μm厚度铝膜芯片代替1.0μm厚度铝膜芯片的方法。研究工作主要包括以下几个部分:1.通过Cu线键合界面的HRTEM测试结果分析,铜线键合温度升高到340℃才出现Cu-Al金属间化合物,同时X射线衍射分析结果显示Cu-Al界面生成了CuA12、Cu9A14。Cu-Al金属间化合物CuAl2、Cu9A14生成后,键合强度明显增强。2.试验研究了键合温度、超声能量、铝膜厚与键合强度的演变规律:随着键合温度升高到340℃,键合界面的韧窝区更明显,键合更充分,键合强度更高;超声电信号能量为5mJ左右时铜线键合强度最佳,而过低或者过高的超声电信号能量都会导致铜线键合强度降低;键合芯片覆盖2.8μm厚铝膜能有效的降低芯片的硬度值,保证铜线键合更充分,提升铜线键合质量。3.针对铜线悬臂键合工艺存在着大冲击、大回弹的动态特性和铜线键合点低强度的问题,提出了增厚铝膜的方法。比较了2.81μm铝膜厚度芯片与1.0μm铝膜厚度芯片的动态特性和键合强度,实验证明提高铝膜厚度改善了铜线悬臂键合的挠度冲击,从而增强了铜线悬臂键合强度。
其他文献
<正> 肾移植是20世纪医学史上的一件大事,它与透析疗法相结合是目前治疗不可逆慢性肾功能衰竭的一种主要和有效的方法。移植肾动脉狭窄(renal transplant arterystenosis,RTA
<正> Mirizzi 综合征少见,术前诊断困难,鉴于对本征认识的不断加深,我们对此征的影象学诊断作一综述。一、定义和发展Mirizzi 综合征为肝总管阻塞综合征,1905年Kehr 和1908年
在如今的测量领域,浮地测量的应用非常广泛,如检测不间断电源、诊断马达驱动器、工控设备和电力系统,甚至放大器等模拟电路。传统的数字存储示波器在测量信号时,由于通道与通
铣削是金属切削应用最广泛的加工工艺之一,在航空、航天及汽车零部件制造等领域有重要应用。整体立铣刀广泛应用于零件侧面、成形面、槽、小平面,尤其是模具各种结构形状的型
【正】 中国法律咨询中心于十一月十七日在北京人民大会堂宣告成立.中共中央政治局委员、书记处书记习仲勋;全国人大常委会副委员长彭冲、班禅额尔德尼·却吉坚赞、荣毅
1958年Jacques Caroli描述了主要表现为胆管树囊腔状扩张的一种少见的慢性胆管疾病,常危及生命。Caroli's病常在儿童期出现,被认为是先天性的也可能是遗传的。本文介绍了该病影像学的各个方面。
从改革的背景和动力、改革的具体实施过程、改革的成效等方面介绍了上海市某医院以护士分层使用为基础的护理奖金分配改革的具体实施办法及其成效。
随着社会的发展和国家三农政策的实施,农村经济逐步发展,农民生活水平不断提高。但随之而来的婚事畸形消费高增长的现象却愈演愈烈。这种畸形消费不仅加重了农民的经济负担,
本文针对铝合金激光焊接的主要问题,用CO2激光器和光纤激光器对5052铝合金进行了焊接工艺实验,测试了两种激光器实现深熔焊接的阈值功率,研究了激光功率、焊接速度、保护气体