论文部分内容阅读
压电陶瓷驱动、柔性铰链支承的微位移器是近年来发展起来的新型微位移器,它具有体积小、质量轻、精度和分辨率高等特点,在光学、电子、航空航天、机械制造、生物工程、机器人等技术领域得到了广泛应用,是性能良好的精密微位移器.该文设计了一套以压电陶瓷为驱动器的微位移闭环控制系统,该系统在闭环控制下能消除压电陶瓷的迟滞、位移非线性和蠕变三个固有压电误差,实现微位移工作台的精密定位.