钛合金具有低密度,高比强度,耐热耐腐蚀等优点在尖端领域和民用方面应用广泛。Ti6A14V合金由于其良好的综合性能,是钛合金中用量最大合金。传统的钛合金零件制备方法主要是铸造和锻造,但是由于钛合金的极易氧化,这两种工艺需要在保护气氛下进行。近年来喷射成型钛合金零件引起了研究者的关注。喷涂中常用的雾化球形粉成本比较高,氢化脱氢(HDH)Ti6A14V粉末成本约为球形粉的1/10,但是,没有这方法的研究。本研究利用低压等离子设备,用150目和325目的两种尺寸的氢化脱氢Ti6A14V粉末制备涂层,研究了喷涂参数和粉末尺寸对涂层组织和性能的影响。为了进一步提高涂层性能,对获得的涂层在真空条件下进行热处理,研究了热处理对涂层组织演变和性能的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、能谱仪(EDS)、硬度计等测试了涂层的组织结构、力学性能以及元素分布,并用XRD慢扫描计算涂层的晶格常数c/a的值。研究结果表明:通过调节喷涂参数能够制备出性能良好、孔隙率较低的涂层,涂层的致密度几乎达到百分之百。较大的粉末尺寸具有较小的比表面积,能够降低粉末在喷涂过程中的氧化,其制备的涂层具有更好的断裂韧性。热处理后涂层会经历再结晶和晶粒的长大,形成等轴晶组织。150目粉末制备的涂层热处理后形成的等轴晶的晶粒度较大。热处理过程中Al、V等元素重新分布,V元素从等轴晶中析出,在等轴晶晶界处形成粒状β相。热处理温度提高会促进氧原子与钛合金的固溶。氧元素的固溶量会影响钛合金晶格常数c/a的值,随热处理温度的提高,氧的固溶含量增加,晶格常数c/a的值增加。氧元素在热处理过程中与钛合金形成间隙固溶体造成晶格畸变,使涂层的硬度随热处理温度的升高而升高。氧的固溶还会降低涂层的断裂韧性,使涂层变脆。