作为国际微小型航天器热控研究领域的热点之一,可变发射率热控器件技术能很好的解决微小型航天器热控问题。在可变发射率热控器件之中,MEMS百叶窗具有质量轻,耗能少,加工工艺易与IC工艺相结合等优点,有很好的实用价值和发展前景。本文结合国内工艺水平,设计了两层结构的MEMS百叶窗,并对其进行了仿真、加工工艺和实验测试等方面的研究。首先提出了MEMS百叶窗力学模型,比较了平行板式和梳齿式两种驱动结构,推导了输出位移公式并进行了计算。计算结果表明,梳齿结构更适合作为百叶窗的驱动结构。设计了初步的MEMS百叶窗结构,并对折叠梁结构形式和当量发射率进行了分析。借助ANSYS进行了静态分析和模态分析仿真。静态分析中,以获得较大位移和合适的应力为目标,对百叶窗结构进行了仿真。仿真结果表明,折叠梁串联个数越多,梁的刚度越小,位移和最大应力值越大。模态分析中,得到了百叶窗的五阶模态振型和固有频率,其中一阶模态振型为百叶窗平移振动,其固有频率为874.58Hz。设计了体硅加工工艺流程并制作了MEMS百叶窗。加工结果表明,设计的百叶窗结构和加工工艺是合理可行的。对百叶窗进行了封装测试,得到了百叶窗器件的谐振频率、电压位移对应关系等各种器件参数和性能。通过MEMS百叶窗设计和实验研究,对设计和加工MEMS百叶窗的难点和关键有深刻的认识,基本掌握了相关的设计研究方法和加工手段,对今后完善MEMS百叶窗研究进行了展望。