基于二硒化钼薄膜增强的微光纤湿度传感器件

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湿度值在工农业生产、仪器仪表、载人航天等领域中是一项至关重要的监控参数指标,相较于电子湿度传感器,光纤湿度传感器兼具远程传输,抗电磁干扰,耐腐蚀,可实现分布式传感、安全经济环保等诸多特性。随着万物互联的实施,对光纤技术传输处理信息的依赖性越来越强,对新型全光纤传感器件的要求也逐渐偏向于结构简单紧凑、轻便携带、高性能、易集成化等趋势。其中,在众多的光纤传感器中,微光纤(Microfiber-MF)器件凭借其优良的稳定性与光学特性被广泛应用。利用微光纤具有强倏逝场易与外界环境因素相互作用的特性,达到了对外部环境参量检测传感的目的,同时具备便携、易于集成等特点。二硒化钼(Molybdenum diselenide-Mo Se2)是一种类石墨烯二维层状结构材料的过渡金属硫族化合物,其特殊的结构赋予了它优异的光电特性,从而被广泛运用于各类光电器件。本文基于微光纤的特点,通过结合二硒化钼纳米片实现了增敏后的微型化高性能微光纤湿度传感器件。采用火焰熔融拉锥技术制备了传感所需的微光纤,并采用自然蒸发沉积法将二硒化钼沉积到微光纤表面获得基于二硒化钼的微光纤湿度传感器。测试结果表明,基于二硒化钼的微光纤湿度传感器件在高湿度变化范围(83%RH-97%RH)内,随着外界湿度的上升(下降),器件中的传输光功率也随之上升(下降)。其灵敏度为1.87 d B/%RH,器件的响应时间和恢复时间分别为1 s和2 s。此外器件还具备工作稳定性好,可逆性、重复性好等优点,这在全光纤湿度传感技术领域具有良好的应用潜力。采用有限元法(COMSOL multiphysics)对器件的传感机理进行了仿真解析。二硒化钼的折射率会随着外界湿度变化而变化,这将会间接改变传输模式的场强,带来传输光特性的变化。计算结果表明当外界湿度上升时该器件的传输光特性发生了增强,即传输光功率随之上升。理论仿真结果与实验测试结果的一致表明我们实现了一种在高湿度环境下具备良好的线性灵敏度、响应时间与恢复时间的湿度传感器件。本论文的创新点:提出将二维材料二硒化钼与微光纤结合制备湿度传感器件,且器件可在高湿度(83%RH-97%RH)环境中实现高灵敏度(1.87 d B/%RH)的检测传感。
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