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对于光学平面面形的高精度检测,目前常用的方法是相对于参考平面的干涉测量,其检测精度受到参考平面面形精度的制约,而绝对检测方法能够将参考平面误差从测量结果中分离出去,从而得到被测元件的绝对面形。本文主要以三面互检法在平面绝对检测中的应用为研究方向。首先介绍了一些常用三面互检法的原理并分析了各自算法的优缺点。为了获得全口径、全频段的绝对面形,本文研究了一种基于N位旋转测量的绝对检测方法,在传统三面互检法的基础上,增加一组N位旋转测量,利用奇偶函数理论获取完整的面形信息。推导了理论公式,并进行了计算机模拟