【摘 要】
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场效应晶体管(FETs)具有低功耗、抗辐射能力强、热稳定性好等优势,不仅广泛应用于铁电存储器、电容器件、波导管等微电子元件中,更是研究铁电场效应、磁电耦合效应、量子霍尔效应等物理效应的重要器件。但由于传统栅极本身性能的限制,场效应晶体管无法满足大幅度、非易失性调控的要求。随着对高性能铁电材料研究的深入,研究者开始尝试用具有剩余极化的铁电材料替代传统的绝缘栅极材料,构建了一种新型的场效应晶体管—铁电
【机 构】
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中国科学院大学(中国科学院上海硅酸盐研究所)
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院上海硅酸盐研究所)
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场效应晶体管(FETs)具有低功耗、抗辐射能力强、热稳定性好等优势,不仅广泛应用于铁电存储器、电容器件、波导管等微电子元件中,更是研究铁电场效应、磁电耦合效应、量子霍尔效应等物理效应的重要器件。但由于传统栅极本身性能的限制,场效应晶体管无法满足大幅度、非易失性调控的要求。随着对高性能铁电材料研究的深入,研究者开始尝试用具有剩余极化的铁电材料替代传统的绝缘栅极材料,构建了一种新型的场效应晶体管—铁电场效应晶体管。铁电场效应晶体管主要由铁电栅极材料和功能薄膜整合而成。一方面,铁电栅极材料本身具有剩余极化
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