在现代工程光学领域中，非球面的主要检测方法包括轮廓测量法、无像差点法法、光学补偿法和子孔径拼接法。光学补偿法通常包括Null Lens补偿法和计算全息图（Computer Generated Hologram，CGH）补偿法。Null Lens由多块球面组成，检测精度受限制于各个球面的加工残差及装配精度，在检测大口径非球面时，甚至无法设计出合格的补偿器。利用CGH检测非球面的面形误差是一种独立的光学补偿检测方法，并伴随着光刻技术的发展，逐步成为一种高精度的非球面检测方法，并获得广泛的应用。制作精度直接决定了CGH出射波前的精度及衍射效率，间接决定了检测面形的精度。CGH是非球面加工与检测中的关键光学元件，研究高精度的CGH制作工艺具有重要的工程应用意义。CGH的制作技术通常包含激光直写光刻技术与反应离子刻蚀技术两个部分，论文对CGH制作中的若干关键问题进行了深入讨论和研究，主要包括四个部分:1.制作误差对对CGH波前的影响全面分析了各项制作误差对CGH波前精度及衍射效率的影响，提出了可用于指导加工的CGH误差计算模型；2.激光直写技术与反应离子刻蚀技术对激光直写技术及反应离子刻蚀技术的基本原理进行了探讨，进行了相关的工艺实验3.振幅型CGH的评价标准、制作及应用在振幅型CGH误差分析的基础上，提出了振幅型CGH的评价标准及制作目标，制作出0.006λRMS的振幅型CGH，形成了完整的制作工艺流程，并有多块CGH应用于实际工程中；4.位相型CGH的评价标准与制作在位相型CGH误差分析的基础上，提出了位相型CGH的评价标准及制作目标，并在两种不同的工艺条件下，制作了两块位相型CGH，并对二者进行了比较。