自动批量化MEMS加速度传感器测试装置设计研究

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MEMS加速度传感器作为MEMS惯性器件的一个重要组成部分,已经广泛应用于汽车电子、航海、办公设备、医疗等领域。随着近年来智能手机、生物医学、机器监控等行业的发展,MEMS加速度传感器的市场需求量在逐年递增。但是在投入市场之前,需要对MEMS加速度传感器进行各项性能指标的标定测试。而目前国内尚没有能够自动批量化对MEMS加速度传感器进行标定测试的设备。本文设计研究了一种自动批量化MEMS加速度传感器测试装置,该装置能够在可变环境中实现对MEMS加速度传感器各项性能指标的标定测试。首先,本文通过分析MEMS加速度传感器的几种标定测试方法及原理,设计了该测试装置的总体结构。该测试装置主要由静态测试部分、动态测试部分、PLC控制系统和上位机软件组成。文章利用SolidWorks三维机械设计软件对测试装置的机械结构进行了详细的设计研究。测试装置机械结构的设计主要包括加速度传感器载体、翻滚驱动机构、水平驱动机构、竖直升降机构以及自动锁紧机构的设计。其次,论文对测试装置的软硬件设计进行了详细研究。测试装置的硬件设计主要包括PLC控制步进伺服电机电路、光电开关电路、PLC与计算机的串行通信、高精度倾角传感器在线监测电路的设计;测试装置的软件设计主要包括PLC控制主程序、FX2N-20GM的定位程序、高精度倾角传感器在线监测软件的设计。最后,对自动批量化MEMS加速度传感器测试装置进行了机械装配和系统调试。分析了装配过程中出现的问题,提出了具体的解决方案。进行了MEMS加速度传感器静态标定测试试验,对标定测试结果进行了分析,并通过试验结果验证了该测试装置的有效性和可行性。
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