基于位移传感器的像差检测光学系统的研究

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传统的光学系统对于几何像差的检测通常采用星点法、哈特曼法或刀口阴影法等,其测量结果受人为主观因素影响较大、精度不高。为满足光学系统测量像差的精度要求,本系统在传统的哈特曼(Hartmann)检测方法基础上,引入光栅尺位移传感器,结合高分辨率CCD作为光电接收装置,经自动对焦和图像处理,由计算机直接给出测量结果,消除了人为因素影响,提高了测量准确度,操作简易。与传统测量方法相比,降低了测量误差,并提高工作了效率。本文主要是针对实验教学用像差检测系统,对其测量系统和光学系统部分进行研究。本文介绍了基于位移传感器的像差检测系统的工作原理以及系统组成,并确定了位移传感器的类型,设计了平行光管和CCD成像物镜,论述像差测试原理及计算公式,并对测试系统进行了误差分析,为整体的结构设计提供了有利的依据。
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