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微机械或微机电系统的发展对微夹持器的性能提出更高要求,高精度的微夹持器是微纳米技术应用中的一项关键技术。微夹持器作为执行机构直接与物体接触,因此对其性能要求较高。针对目前常规微夹持器整体尺寸大、输入输出放大系数小、夹持力和夹持位移检测困难的缺点,本文设计了一种压电驱动柔性双摇杆式微夹持器并对该微夹持器的性能进行了相关分析和测试,全文分为以下几个部分：第一章给出了课题的研究背景和研究意义,综述了微夹持器本体柔顺机构、驱动方式、传感配置的发展和应用状况,接着提出微夹持器设计的目标,并对全文的工作进行了说