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随着集成电路技术的不断发展，工艺生产过程中的不确定因素对模拟电路性能的影响日益严重。为了建立考虑工艺参数随机变化情况下的模拟电路模块的行为级模型，本文提出了基于稀疏网格(Spanse Grid)的随机配置建模方法。与已有的建模方法相比，该方法具有以下两个优点：首先，与传统的需要大量采点的蒙特卡罗方法相比，随机配置方法具有指数收敛的特性，能够大大降低计算复杂度；其次，为了避免通常用于多维空间的直接张量积随机配置法所带来的采点数随空间维度指数增长的缺点，本文采用的稀疏网格采点技术在保证建模精度的同时，大幅减少了配置点数目，从而进一步降低了随机配置法的计算复杂度。以上两个优点在实例结果中得到了证实。