高精度膜厚控制仪的设计与研究

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【摘要】

：

本论文主要是讨论高精度膜厚控制仪的研究和设计,针对目前光学薄膜监控仪的分辨率低,很难对极值点进行判断,不能对镀膜过程中的数据进行存储,自动化的程度低、操作者劳动强度大,不能保证薄膜产品的质量等问题而研发的。为了解决这些问题,本论文首先设计了直流放大电路将微弱信号进行放大,提高其分辨率,然后利用数据采集卡PCL-6111对数据进行监测和算法处理,经过算法处理后使得极值点更加容易判断,然后利用VC++

【作者】

：

钟亮

【机构】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2010年03期

【关键词】

：

膜厚控制仪镀膜数据采集多线

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