随着科学技术的发展，非球面光学零件在军事、航天、医疗等领域应用越来越广泛，与人类的生活越来越息息相关。由于传统的加工方法很难满足加工要求，近年来发展起来的微结构表面制造技术也存在一定的局限性，但是，与上述加工方法相比，用超精密车削技术来加工微结构具有许多优点，如可以加工非对称球面、加工出的零件可以达到纳米级的表面粗糙度等。因此，超紧密车削技术对于加工微结构越来越重要。本课题以超精密车削中的微驱动系统作为研究对象，采用了压电陶瓷驱动器和柔性铰链导向机构组成微驱动机构。其中的柔性铰链刀架部分决定系统的机械性能，压电陶瓷驱动器决定系统的精度。因此，这两部分是本课题的研究重点，其中主要的研究内容包括有：分析了对本系统产生影响的柔性铰链刀架机械性能参数，如刚度和铰链运动方向的模态。用ANSYS有限元分析方法对柔性铰链刀架结构进行优化，选择满足设计要求的结构参数，完成刀架的结构设计。并将仿真结果与理论计算结果进行对比，验证仿真结果的正确性。通过对压电陶瓷的非线性滞回特性的研究，选择了一种基于Preisach模型的方法来进行补偿，将此方法建立的模型作为压电陶瓷控制的前馈环节，可以提高压电陶瓷的定位精度、响应速度。研究了在切削过程中由于切削深度的变化、材质不均匀等产生的切削力扰动对加工质量的影响，采用滑模变结构控制来减小外界扰动对加工质量产生的影响。对控制算法进行仿真实验，证明该算法的有效性。