超声磨削技术是在磨削加工中引入超声振动,借助超声振动的作用去除工件上的被加工材料。主要优点是加工效率高,但声学系统振动稳定性难以得到保证,不能高效的获得粗糙度极低的表面。ELID磨削加工技术是利用砂轮磨削和在线修锐相结合的磨削技术,通过电解作用对金属基金刚石砂轮进行持续修锐,从而避免砂轮的钝化和堵塞现象,实现对硬脆材料的精密磨削,获得较高精度的加工表面,但是加工成本高、砂轮易堵塞、脱落的磨粒易擦伤工件。因此,为了获得既高效又有高精度的加工表面,本文对超声与ELID磨削两种工艺复合进行了研究。由于ELID磨削主要是氧化膜和其中包含的磨粒对工件的刮擦,其中对氧化膜的影响因素中最主要的因素为电参数,因此对电参数的研究就尤为重要。研究中选取的磨削方式为内圆磨削。由于砂轮直径相对外圆磨削,直径很小,不能实现边电解边磨削,所以,在试验过程中,采用把砂轮电解修锐后进行磨削,磨削一段时间把砂轮退出再进行电解,如此反复进行磨削的方法。本文用Labview对复合工艺中的电压电流进行了在线测量,更加准确的研究了电参数对砂轮的修锐,氧化膜的厚度及加工后的表面质量的影响。