【摘 要】
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微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的发展始于20世纪60年代,是微电子和微机械技术的交叉和融合。如今,针对MEMS器件的统计分析(Statistical Analysis,SA)已
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微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的发展始于20世纪60年代,是微电子和微机械技术的交叉和融合。如今,针对MEMS器件的统计分析(Statistical Analysis,SA)已成为MEMS设计的重要任务。随着MEMS器件特征尺寸的减小,对MEMS器件统计模型的需求也随之增大。设计者可基于MEMS设计的专业背景,为其特定的MEMS器件建立一套统计模型。而这个过程并不像分析统计参数对其的影响那么简单,导致SA技术得到MEMS制造商越来越多的关注。为寻求一个MEMS器件分析的通用方法,提出了一种更为通用的SA方法,并集成应用到创建软件“SAM”中。本文通过使用一些基本的分布函数(比如用正态分布和高斯分布)进行建模和仿真。这些分布被应用于Sugar(基于Matlab)和Smash(基于VHDL-AMS)中。尽管最终的解决方案并不十分完善,但通过本项目所使用到的方法,显示了建立广义的MEMS器件统计模型的前景和意义。此外,本文重点开发了一套使用简单的软件,为统计分析MEMS的模型所用,取名“SAM”。在“SAM”及Sugar的帮助下,用户将能享受一个友好的用户界面并可以对MEMS器件进行快速建模和仿真,且“SAM”软件具有很强的可扩展性。
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