【摘 要】
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传统的电容式加速度计尺寸减小会导致器件对输入加速度反应度的减弱和机械热噪声的增加;同时器件尺寸的减小也使得器件检测电容快速减小而导致接口电路产生大的信号损失,这些
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传统的电容式加速度计尺寸减小会导致器件对输入加速度反应度的减弱和机械热噪声的增加;同时器件尺寸的减小也使得器件检测电容快速减小而导致接口电路产生大的信号损失,这些因素限制了电容式微加速度计灵敏度的提高.利用近年来开发出的电感耦合等离子体刻蚀（ICP）技术可以加工出具有大深宽比和边墙垂直度很高的槽,这种技术的开发为高性能电容式微加速度计的研制提供了机遇.该论文围绕高性能三轴电容式微加速度计及其接口电路的设计、制作展开了一系列较为系统和深入的研究工作.我们从增大电容式加速度计惯性质量的角度出发,设计出了具有大厚度的三轴电容式加速度计微结构.我们选择采用了阳极键合同ICP深反应离子刻蚀相结合的加工工艺方法来制备所设计的大厚度电容式微结构.
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