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电容式微结构相关论文
三轴电容式加速度计的设计与研制
传统的电容式加速度计尺寸减小会导致器件对输入加速度反应度的减弱和机械热噪声的增加;同时器件尺寸的减小也使得器件检测电容快......
学位
加速度计
接口电路
惯性质量
电容式微结构
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