【摘 要】
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本文对纳米压印技术发展中的相关力学问题进行了探讨。本研究介绍了纳米科学技术、研究中的常用观测仪器和纳米压印加工技术。在纳米压印技术的基础上，发展了两种实验方法，用于
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本文对纳米压印技术发展中的相关力学问题进行了探讨。本研究介绍了纳米科学技术、研究中的常用观测仪器和纳米压印加工技术。在纳米压印技术的基础上，发展了两种实验方法，用于通过高弹性薄膜的宏观机械变形来进一步缩小和调节纳米图样的尺度：一是利用基底薄膜的自然收缩，使其上的纳米结构缩小化和密集化，虽然实验观察到一定的有效性，但有限元分析表明，纳米结构材料的性质、残留层的厚度和基底收缩率都会影响收缩效果；另一种方法主要通过沿栅线方向的拉伸，利用泊松效应使横向尺度收缩。实验中栅距与理论预测吻合较好，但突起高度由所损失，也限制了通过实验过程的重复实现纳米结构尺度的连续缩小。
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