TFT-LCD显示面板的缺陷检测,是TFT-LCD显示面板制成工艺中的重要工艺。其中阵列缺陷检测在整体缺陷检测中占有极为重要的作用。该工艺是一种结合了SEM、FIB、老化等多种实验手段,以及薄膜特性分析、等效电路分析、光学、电学等多项技术的检测工艺,是TFT-LCD显示面板制成工艺中保障产品质量的重要手段。本文主要以第五代TFT-LCD显示面板制成工艺为基础,高世代TFT-LCD显示面板工艺为借鉴,对显示面板阵列缺陷测技术进行深入研究,对缺陷的类型、产生机理、检测方式,借助等效电路模型、实验设计、对比分析等手段,提出一套全面有效的检测方法,特别对生产中遇到的非常规缺陷的检测提出了创新的检测办法,并通过产品设计的改变达到更加有效的检测效率,使产品缺陷的检测更为准确,从而达到提高产品良率、改善产线效益的目的。本文中涉及的检测方法及专利改善均已适用于第五代TFT-LCD显示面板制成工艺,取得了较好的经济效益。从实际生产角度出发,填补了国内液晶面板制造行业阵列检测的空白,为TFT-LCD阵列缺陷检测领域的研究人士提供了一份较为完整的参考。