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与MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术结合的超声分离方法在微流体领域有无法比拟的优点和广阔的应用前景。早期的MEMS超声分离器基于平面驻波模式(一维模式),但该分离器因存在结构上的限制,分离效率较低,应用受到限制。为解决上述问题,研究焦点转向更具有优越性的二维驻波模式超声分离器上。目前,二维模式超声分离器研究初步展开,二维驻波声场的构建方法和分离腔二维驻波模式激发技术均呈现多样性。本文采用简正模式构建二维驻波声场,建立了分离腔二维简正模式激发模型,