几种纳米半导体薄膜场电子发射和电输运特性研究

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【摘要】

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该论文主要研究了几种纳米半导体薄膜的场电子发射和电办运特性.对用微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)方法在化学刻蚀的Si衬底上制备的纳米金刚石薄膜场电子发射测量发现.它

【作者】

：

张亚涛

【机构】

：

兰州大学

【出处】

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兰州大学

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

纳米半导体薄膜电子发射电输运特性

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该论文主要研究了几种纳米半导体薄膜的场电子发射和电办运特性.对用微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)方法在化学刻蚀的Si衬底上制备的纳米金刚石薄膜场电子发射测量发现.它们呈现出非常优异的场发射行为,有着极低的发射开启电场和相当高的发射电流密度,并对场发射性曲线进行了分析,探讨了它们可能的场发射机理.

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