论文部分内容阅读
化石燃料的使用加剧了环境问题的恶化,各种绿色新能源呼之欲出。太阳能作为一种干净的可再生能源,越来越受到人们的青睐。本论文所研究的多晶硅太阳能电池跟单晶硅太阳能电池比较,生产成本较低,特别是在采用了先进的氮化硅钝化和体内吸杂以后,其能量转换效率等各方面特性跟单晶硅太阳能电池都比较接近。而工业生产更注重它带来的经济效益。本论文着重在于工业生产多晶硅太阳电池钝化方面的研究,实验均在生产线上,大批量的实验数据为生产工艺提供重要的参考依据。本论文研究了用管式PECVD制备的SiNxHy膜、Si