采用电阻-电容串联电路对比研究了Pb(Zr_0.2Ti_0.8)O₃和Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃铁电薄膜的反转特性，研究发现：Pb(Zr_0.2Ti_0.8)O₃和Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃铁电薄膜开关时间均与驱动电压成反比例关系；与Pb(Zr_0.2Ti_0.8)O₃铁电薄膜相比，Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃铁电薄膜开关时间更快，开关电流峰值更高。采用生长在硅衬底上的外延SrTiO₃为模板，直接生长了SrRuO₃/PbZr_0.5Ti_0.5O₃/SrRuO₃电容器异质结，并对其结构及性能进行了研究。X射线衍射表明所制备的SrRuO₃/PbZr_0.5Ti_0.5O₃/SrRuO₃异质结实现了在硅衬底上的外延生长。在5V测试电压下，铁电电容器的剩余极化强度和矫顽电压分别为19.6μC/cm²和0.8V。当极化反转次数达到1010次时，铁电电容器的极化强度没有明显的衰减，表明SrRuO₃/PbZr_0.5Ti_0.5O₃/SrRuO₃电容器具有良好的抗疲劳性能。以Pt/Ti/SiO2/Si（111）为衬底，构架了Pt/Bi_0.975La_0.025Fe_0.975Ni_0.025O₃/Pt铁电异质结。研究发现，Pt/Bi_0.975La_0.025Fe_0.975Ni_0.025O₃/Pt异质结具有良好的钙钛矿结构，在驱动电压为24V下的剩余极化强度为68.2μC/cm2，矫顽电压为13.0V；在10V下的漏电流密度为6.4×10-4A/cm2，由此表明，掺杂有效减小了BiFeO₃的漏电流密度。对比研究了衬底和电极材料对BiFe_0.95Mn_0.05O₃铁电薄膜微结构和物理性能的影响。研究发现，在LaAlO₃衬底上生长的BiFe_0.95Mn_0.05O₃铁电薄膜与在SrTiO₃衬底上生长的BiFe_0.95Mn_0.05O₃铁电薄膜相比，漏电流密度更小，饱和趋势更好。在SrTiO₃衬底上生长的SrRuO₃/BiFe_0.95Mn_0.05O₃/SrRuO₃铁电电容器的铁电性优于La_0.5Sr_0.5CoO₃/BiFe_0.95Mn_0.05O₃/La0.5Sr0.5CoO₃铁电电容器；在10V测试电压下SrRuO₃/BiFe_0.95Mn_0.05O₃/SrRuO₃和La_0.5Sr_0.5CoO₃/BiFe_0.95Mn_0.05O₃/La_0.5Sr_0.5CoO₃铁电电容器的漏电流密度分别为1.2×10^-2A/cm²和9.8×10^-2A/cm²。