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氧化锌(ZnO)是一种新型的宽禁带Ⅱ-Ⅳ族化合物半导体材料,以其优良的特性,在太阳能探测器、紫外发光器件、场效应管等方面得到了广泛的应用。近年来,纳米团簇作为一个多学科交叉的科学技术,引起了研究者的广泛关注。本文主要制备含有纳米团簇结构的ZnO复合薄膜,并研究其光电性质。本文的主要工作是利用纳米球刻蚀技术制备出单层的、大面积的聚苯乙烯微球掩膜板,采用射频磁控溅射技术在掩膜板上长一层ZnO薄膜,然后用有机溶液四氢呋喃(THF)浸泡去除聚苯乙烯胶体球得到ZnO纳米团簇阵列。掩膜板的制备尝试了电