【摘 要】
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本文介绍了波片相位测量技术的发展现状,研究并采用了适用于波片相位精确测量的新方法,建立了集光、机、电、算于一体的自动化测量系统,与过去研究工作的不同点在于:测量时无需知
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本文介绍了波片相位测量技术的发展现状,研究并采用了适用于波片相位精确测量的新方法,建立了集光、机、电、算于一体的自动化测量系统,与过去研究工作的不同点在于:测量时无需知道被测波片的光轴方位,放入波片即可进行测量;系统使用了标准波片进行相位补偿,尤其是采用步进电机带动检偏器转动实现相移,运用圆光栅编码器精确测量检偏器的旋转角度,随检偏器旋转变化的出射光强信号由光电探测器接收,经放大、滤波处理后,和角度值信号一起通过串口输入计算机,根据四步移相算法和最小二乘拟合法,可精确得出被测波片的相位延迟量。测量系统可以测量多种波片,操作简单、快速,测量周期短、精度高。
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