近年来,大气压等离子体射流被应用于生物医学方面,如杀菌消毒,癌症治疗,皮肤治疗,牙齿根管治疗等。为了开发适用于生物医学应用的等离子体射流源,本文研究了毫米级双极性直流驱动的大气压氦气等离子体射流与微米级交流驱动的大气压氩气等离子体射流。首先,采用石英管绝缘的高压针（正极）-环（负极）电极结构,开发了毫米级的大气压氦气等离子体射流装置。测量得出等离子体射流的电流波形是脉冲形式的,其脉冲重复频率为0.8-2 kHz,可被人体安全触摸,没有感觉触电或热损伤。研究了电极位置、电极结构、气体流量和含氧量对等离子体射流的放电特性影响,获得了优化参数的条件。其次,将等离子体的直径变小,研制了直径为10μm,长度为2 cm的微等离子体射流装置。在空气介质阻挡放电（DBD）的辅助下,它的击穿电压从40 kV下降到23.6 kV。电流密度高达（1.2-7.6）×10⁴ cm^-2,比毫米级等离子体射流高出6个数量级,与短暂火花放电的电流密度相当,但气体温度却远低于火花放电。通过Ar谱线696.5 nm Stark展宽测得的电子密度高达3×10¹⁶cm^-3,比常规毫米级等离子体射流高出2-4个数量级。采用光电倍增管获得不同轴向位置的光信号,测得微等离子体射流的传播速度范围为1×10⁵ m/s-5×10⁵ m/s。最后,研究了直径为4-100μm微等离子体射流的击穿电压、电特性、传播特性以及电子密度。研究得出随管径减小,微等离子体射流长径比、击穿电压、电流密度、电子密度显著增大。采用H_α的Stark展宽法,发现9μm的微等离子体射流电子密度达到11×10¹⁶ cm^-3。分析认为,电子和Ar亚稳态的扩散或漂移损失可能是造成击穿电压高、电子密度高的主要原因。