随着科学技术与机械加工技术的发展,微机械被广泛的应用于微电子、国防、工业、航天以及精密仪器等领域中,正是众多领域对微机械的需求促进了微位移检测技术的发展。光纤布拉格光栅(FiberBragg Grating,FBG)传感器件具有体积小、耐腐蚀、抗干扰能力强、波长解调、便于复用等优点,在光纤传感和通信领域应用广泛。虽然传统的FBG传感器能够测量位移,但较低的灵敏度限制了它在精密测量领域的应用。FBG禁带附近存在透射率随波长变化的旁瓣,在此处的光也会多次往返传输使部分光透射,而另一部分光被反射回。经过周期结构的透射光或反射光会存在较大的群时延(Group Delay),表明FBG能够产生结构型慢光,慢光技术的引入能提高FBG传感的灵敏度,因此本文以传统光栅传感技术为基础,提出了一种基于FBG慢光的高灵敏度位移传感器,并搭建了微位移传感测量系统,通过改变微位移的输入量,进而对位移传感器的各个性能指标进行评估。本文主要通过数值仿真与实验数据分析对高灵敏度微位移传感系统进行了研究。主要研究内容包括:(1)对FBG产生慢光的特性与机理进行理论研究和数值仿真分析,运用耦合模理论和传输矩阵思想建立不同类型的光栅的理论模型,并观测不同结构参数和不同类型光栅的慢光特性,研究结构参数对FBG慢光特性的影响,确定出FBG的合理的结构参数,为后面的实验指明方向。(2)设计并搭建FBG在不同波长处的慢光时延测量系统,同时完成了上位机数据采集界面,实现自动采集。锁定慢光时延最大值对应的波长,提高微位移传感灵敏度。(3)针对FBG传感基本理论进行研究,将慢光技术引入传感过程中,提出了可行的基于FBG慢光的微位移传感方法。设计并搭建了微位移传感系统进行位移测量实验,并对传感特性进行了分析和处理。最终系统的测量范围为60μm,分辨力达66.3 nm,灵敏度为15.0786 mW/mm,比光强解调的普通光纤光栅传感提高了 13倍。本文从理论和实验两个角度验证了 FBG能够产生慢光,并运用慢光技术提高了微位移传感器的灵敏度。但仍遗留一些问题,如光源功率的波动、传感器的体积和微加工制作等,还需要更深层次的考虑完善。