大气压冷等离子体化学气相沉积TiO_2光催化薄膜

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TiO2薄膜具有光催化活性高、化学性质稳定等特点,被广泛的应用于气体净化、污水治理、抗菌杀菌、太阳能电池等领域。传统制备TiO2光催化薄膜的方法,需要进行高温热处理,对基片的耐热性要求较高。等离子体化学气相沉积是一种低温制备TiO2薄膜的有效方法,但通常需要昂贵的真空系统。介质阻挡放电是一种典型的大气压冷等离子体放电方式,且装置简单,易于操作。本论文在大气压条件下,以TTIP和O2为前驱体,采用介质阻挡放电冷等离子体化学气相沉积法,开展一步沉积TiO2光催化薄膜的研究。将一步沉积的薄膜样品热
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