可见光高透-中远红外高反滤光片可广泛应用于各种卫星的多波段扫描光谱仪,成像光谱仪和太阳能等方面而引起越来越多的关注。如何提高其在可见区的透射率和中远红外的反射率进而提高其在这些方面的应用,更有效地实现对目标的可见、中远红外波段探测,及其在军事上的特殊应用均已成为研究的热点。本文对可见区高透-中远红外高反射的滤光片进行了研制。首先确定了镀制该滤光片所需的薄膜材料为ZnS和Ag,进而采用电阻热蒸发沉积技术镀制了不同厚度的极薄银薄膜,采用椭偏法和有效介质理论研究了极薄银薄膜的特性,给出了极薄银薄膜的光学常数,分析了其变化规律。在此基础上,对膜系进行了设计、优化、分析,用TFCalc膜系设计软件最终设计的膜系为ZnS(35nm)/Ag(13nm)/ZnS(36nm)。然后,采用电子束热蒸发沉积技术研究了单层ZnS的镀制工艺,给出了 ZnS薄膜的制备工艺参数和厚度控制方法。最后,试制了该滤光片,并采用紫外可见-近红外分光光度计测试了镀制的滤光片在可见区的透射率,用红外傅里叶变换光谱仪测试了其在中远红外的反射率。测试结果表明,镀制的滤光片在400-700nm的平均透射率Tave=87.15%,最大透射率Tmax=90.53%,在3-12μm波段范围内平均反射率Rave=95.07%,满足指标要求。