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随着纳米光刻、MEMS封装、超精密加工、微电子工程、生物医学工程等领域的迅速发展,对定位平台的定位精度要求也越来越高,定位系统的发展也将促进超精密加工、精密测量及大规模集成电路等行业的发展。振动是影响定位平台定位精度的主要因素之一,为进一步提高定位平台的精度,本文针对直线电机驱动的气浮定位平台的振动特性,重点研究振动对定位精度的影响。通过设计振动误差补偿机构对定位平台因振动而引起的误差进行实时补偿,实现定位平台的高精度定位。针对定位平台高精度、高动态的运动特性,设计定位平台的总体结构,并基于内部振源