新型电热微驱动器与双稳态机构的研究

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鉴于电热微驱动器具有输出力矩大、驱动电压低、适合微型化、易集成制造等优点,本文首先提出两类电热微驱动器结构,并在仿真优化的基础上进行了原型器件的制备和测试。为了发挥电热驱动器的优点,降低其功耗和响应时间,我们设计了一种新型的双稳态结构,选定典型的由氧化铝驱动层与镍电阻丝发热层构成的双层膜电热驱动器结构为主要研究对象,通过优化组合工艺,最后实现了热驱动器与双稳态结构集成制造,并且测试了其性能。本文提出两类电热微驱动器结构,一类是金属基聚合物SU8的电热微驱动器,一类是基于氧化铝薄膜的电热微驱
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