氧化铝薄膜相关论文
刚玉结构的α-Al2O3具有高温硬度高,化学稳定性好,电绝缘性高和抗氚渗透性能好等优异的综合性能,在高速钢刀具涂层、微电子领域和......
随着科技的发展,半导体领域工艺制造水平越来越高,传统的硅基半导体器件已变得不适用。石墨烯材料由于自身的高载流子迁移率、低电......
学位
Al2O3薄膜在PECVD SiNx过程后钝化性能会出现下降,降低程度随膜厚的增加而增加;退火可以对PE过程中造成的钝化损失进行修复,mw-PECVD......
会议
事实上,由于Al2O3突出的表面钝化效果,很多高转换率的硅电池都采用了Al2O3钝化层.原子层沉积(ALD , Atomic LayerDeposition)是一......
在0.3 M的草酸中,利用二步阳极氧化恒流法制备了平均孔径约为60 nm,有序度较好的氧化铝薄膜.采用电化学沉积方法,在氧化铝模板的表......
采用不同浓度氧化铝溶胶对304不锈钢进行了涂覆处理,研究了涂覆次数、溶胶中碳酸钠浓度对薄膜在900℃下循环氧化100h的氧化动力学......
Al2O3 films are deposited using ion beam sputtering (IBS), ion beam reactive sputtering (IBRS), and electron beam evapor......
用中频孪生靶磁控溅射法沉积制备了掺铒、镱铒共掺AlO薄膜,探索了氧气氩气分压、不同衬底、镱铒共掺杂、掺杂浓度、后退火温度、退......
对比研究了纯铝在600℃含和不含水蒸气的空气中的氧化情况,通过水蒸气氧化引入缺陷实现氧化加速,再利用退火消除缺陷.Raman散射光......
本文采用电沉积-热解法在1Cr18Ni9Ti合金表面沉积氧化铝和氧化铝+氧化铈陶瓷薄膜,经过900℃下100h的高温氧化实验及金相分析发现,......
使用三甲基氯硅烷和水为先驱体,合成了三甲基硅氧烷;将无机氧化铝薄膜制备与有机物涂覆相结合,采用溶胶凝胶法在玻璃基体上制备出了疏......
Al2O3薄膜是最为成功的无机EL绝缘薄膜之一.用脉冲反应溅射法制备了厚为50-340 nm的Al2O3薄膜.研究了功率密度、气压和氧气含量等......
“思维屏蔽”是指在思维的过程中,错误信息掩盖正确信息的现象。“屏蔽”的原因,有的是因为基础知识上的漏洞所造成的,有的是因为......
化学是一门以实验为基础的学科。要发展学生的智力,必须从培养学生的观察能力入手。因为观察是思维的外壳,要思维得到发展,必须认......
阐述铝制零件的可维修性,介绍铝制零件的各种修复工艺,提出用维修设计的方法优选铝制零件的修复工艺及工艺参数。
Describe the m......
采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验 ,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。......
研究“鋁”这一章,可使学生獲得许多的工業知識。鋁的多种用途和它在国民經济中的重大意义,应該結合它的特性來進行研究。它的特......
在学校的教学中,在实验中,在第二课堂活动中,经常遇到对铝件焊接的问题,故此我们有必要掌握这门技术。用锡焊接铝件的关键是如何......
铝制品及铝制零件,如钢精锅一类的制品,如出现裂纹或渗漏可以用锡焊修复,这里介绍一种行之有效的简便的铝焊铝法。方法是将万分之......
25.硫酸溶液中的硫酸浓度为什么规定为15%? 硫酸溶液氧化处理的硫酸浓度为10%~20%。在1%左右的低浓度时,溶液电压上升,不仅不能生成氧......
利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2O3薄膜进行二次钝化处理。通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对......
1 前言近年来,随着柴油机输出功率的不断提高,活塞承受的热应力与机械应力也相应上升,从而导致活塞顶燃烧室周壁龟裂,这一现实已......
现阶段存储器正在朝着高密度、高速度、低功耗的方向迅速发展,给人们的生活带来极大的方便。纳米硅浮栅存储器作为新一代非挥发浮......
半导体工艺水平逐步强大,器件的尺寸逐渐微缩化,Al_2O_3薄膜因为自己本身的高介电常数、高带隙、高透光率得到广泛的研究。其作为......
学位
公当燃着的火柴靠近电石和冰块时,火柴燃烧放出的热会使少量的冰融化成水。水和电石反应生成一种可燃烧的气体—乙炔,乙炔遇火燃烧......
一、前言由多样的通电体联合形成的所有电接触中,在铝电解炉中具有重大意义的是熔铝与炉底炭块间的电接触。同时,到目前还未查明......
研究了在高氮/低氧混合气氛下热处理对氧化铝粉体表面特性及粉体抗水解性能的影响。实验结果表明:经过600℃改性后的AlN粉末表面覆......
采用二次阳极氧化法,以草酸为电解液,制备纳米多孔氧化铝膜。利用扫描电镜、原子力显微镜和X射线衍射仪对氧化铝薄膜的微观形貌和......
本文阐述了四极溅射装置的基本结构、放电特性和溅射速率。同时也报导了该装置淀积的钽、二氧化硅和氧化铝膜的电气和物理化学特性......
研究了平面磁控直流反应溅射法沉积氧化铝薄膜的过程。结果表明氧分压大小对反应溅射过程有决定性作用,当氧分压增大或减小过程中......
以乙酰丙酮铝Al(acac)_3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al_2O_3薄膜。所获得的沉积膜或者无碳、透明、致密(平均......
以异丙醇铝为原料,研究了溶胶的浓度、粘度及加入电解质的种类,电解质的浓度和焙烧温度等条件对成膜的影响.
Aluminum isopropoxide ......
Alumina film with nano-pore array structure was prepared by anodic oxidation of aluminum matrix with different technique......
采用溶胶 -凝胶法在普通玻璃载片上制备了Al2 O3 薄膜 .通过XRD ,DSC -TGA以及椭圆偏振测厚仪等测量手段研究了勃姆石溶胶的制备条......
低铬耐热铸铁流口在熔铝炉上的应用流口也叫出液口,是熔铝炉或保温炉控制铝合金液的关口。我厂使用过粘土质、高铝质耐火砖流口、普......
利用氧化膜应力原位测量装置研究了离子注入1×10~(17),1×10~(16)Y~+/cm~2对Ni-15Cr-6Al合金渗铅层氧化膜恒温生长应力的影响.结果表明,离子注入上述二种剂量的Y~+对合......
用溶胶-凝胶法制备了稳定透明的氧化铝溶胶,并采用提拉法镀膜工艺在石英毛细管内壁制备了氧化铝薄膜。研究表明,薄膜厚度随提拉速......
研究了反应溅射氧化铝薄膜对CO-30Cr-6Al-0.5Y涂层抗高温氧化性能的影响。结果表明,3.5μm厚的Al_2O_3薄膜可大大改善CoCrAlY涂层......
1 概述 铝及铝合金的可焊性是很差的。由于铝的化学活泼性强,与空气接触时,会在其表面形成一层致密结实的Al_2O_3薄膜。Al_2O_3熔......
通过射频反应溅射的方法制备Al2O3薄膜,并研究其中AL和O的化学配比,并取得初步结果。实验以高纯Al作为靶材,高纯度O2为反应气体,在......