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随着现代科学技术如数学、计算机自动控制、电子、微加工等的进步与发展,精密机械制造技术成为实现先进制造的重要支撑技术,而精密位移平台是精密机械制造设备的核心部件,其性能的优劣直接影响精密机械产品的性能。先进制造除了对精度的要求不断提高外,又提出了大行程的要求。目前,宏微结合两级驱动技术是实现大行程、高精度运动控制的一种有效策略。本文基于弹性力学的薄壁原理,设计了一种基于气压驱动的微位移驱动平台。在此基础上,结合宏微两级驱动思想,设计了一种大行程,高精度的宏微二维进给位移台。综合运用了理论计算、有限元仿