论文部分内容阅读
当代无线电技术与微电子技术朝着小型化、集成化方向发展。铁电材料因其具有介电性、压电性、热释电、铁电性等重要特性,越来越受到研究者的重视。Ba_xSr_(1-x)TiO_3具有高介电常数、较低的损耗等良好的性能,成为研究的热点之一。顺电相下BST材料具有介电常数随外加偏压而改变的特性,且在微波范围仍具有很大的介电常数,这使得BaxSr1-xTiO3材料成为移相器、滤波器、变容器等微波射频器件潜在的功能材料,具有很好的应用前景。但是在实际应用和研究中还存在着一些问题:如与硅基半导体工艺的集成,介电可调性