pn结是双极型器件的基本结构,这种结构的抗辐射能力将直接影响双极型器件在辐射环境中的可靠性。因此迫切需要对pn结材料辐射损伤效应进行深入研究,并提出一种表征技术用以评价双极型器件的抗辐射能力。噪声与材料及器件的内部缺陷密切相关,使用噪声有望能够实现对双极型材料辐射损伤的表征,进而发展成为双极型器件无损评估的工具。本论文深入研究了pn结材料的辐射损伤机制及噪声产生机制,发现双极型器件经γ总剂量辐射后,表面损伤和体损伤均存在,并以表面损伤为主。根据材料与器件相结合的辐射效应研究方法,分析比较了pn结材料的易损部位,提出测试结构的设计原理,完成了不同结构辐射易损测试结构的设计。针对实验样品设计了辐照实验,测量辐照前后电学参量和噪声参量,验证了设计样品的正确性和抗辐射性能;对比电学参量和噪声参量的实验结果,优选出噪声灵敏表征参量。基于pn结器件1/f噪声模型,引入辐射损伤机制,建立了材料辐射损伤的噪声表征模型。以噪声表征模型为基础,初步提出pn结材料的辐射损伤噪声灵敏表征技术。本文基于pn结材料的辐射损伤机制和1/f噪声模型、辐射损伤-参量测试实验样品设计及其测试结果,优选了噪声灵敏表征参量,提出了pn结材料辐射损伤噪声灵敏表征技术,为运用噪声表征pn结材料、工艺和双极型器件的抗辐射能力提供了一种快速、灵敏的表征方法。