【摘 要】
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为了对纳观世界进行更加清楚的认识,充分发挥纳米技术在材料、生物、医学、信息等领域技术创新中的促进作用,纳米技术研究和纳米制造装备的研制成为各国科技竞争的焦点之一。而原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是目前用于纳米研究最重要的工具之一。其基本原理是通过检测针尖与纳观世界的力交互作用,实现纳米尺度的形貌检测、纳米材料特性表征,以及纳米操作的精确控制。本文在国家自然
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为了对纳观世界进行更加清楚的认识,充分发挥纳米技术在材料、生物、医学、信息等领域技术创新中的促进作用,纳米技术研究和纳米制造装备的研制成为各国科技竞争的焦点之一。而原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是目前用于纳米研究最重要的工具之一。其基本原理是通过检测针尖与纳观世界的力交互作用,实现纳米尺度的形貌检测、纳米材料特性表征,以及纳米操作的精确控制。本文在国家自然科学基金计划项目“纳米结构与器件跨尺度三维操纵与互连的基础研究”的支持下,自主开发了基于AFM原理的双探
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