近年来宽禁带深紫外光电探测器因其在众多应用领域备受需求成为研究热点。但其中材料薄膜的生长,器件的制备成本和性能以及制备过程中造成的重金属和气体污染等问题仍然值得思考。综合以上问题在本文中设计了一种基于碳点材料的深紫外光电探测器并对其性能进行了研究。该碳点作为一种碳基的天然宽禁带材料在深紫外区域拥有优越的吸收特性,同时碳点材料的制备过程采用蒸馏水作为电解液的绿色自然的电化学方法,器件的制备过程简便快捷无需大型复杂设备。本论文具体研究内容和结果如下:首先完成了碳点的制备并对其性能进行了研究。其中采用电化学方法制备碳点,使用纯石墨棒作为剥离碳点的碳源,蒸馏水作为电解液,所加直流电压为60V。结果表明碳点颗粒粒径分布在2.3-8nm之间,平均尺寸大小为3.3nm。碳点由主要碳和氧两种元素组成,碳点表面存在亲水性羟基官能团。紫外可见吸收光谱表明碳点在深紫外区域具有强烈的吸收,最大吸收波长位于230nm处。其次,该论文设计并制备了基于上述碳点材料的深紫外光电器件并对器件性能进行了研究。设计了基于碳点的光电导型结构与金属叉指电极样式的深紫外光电探测器,并完成了器件的制备与性能评估。该器件在偏压4V时暗电流约为98.8n A,254nm紫外光下电流约为18.6μA,光暗电流开关比达到了188,初步确定了碳点作为器件的光吸收材料在深紫外具备一定的探测能力。另外器件具有较好的稳定性,真空环境会大大减小器件的暗电流。最后本课题研究了可使该光电器件性能提升的几种方式。通过改变碳点的成膜工艺、碳点浓度及电极间距等方式,对器件的性能进行了评估。结果表明采用加入分散剂PVA溶液旋涂碳点薄膜后,该器件在254nm紫外光下的光电流增大了2.57倍。碳点浓度研究结果显示,采用2.2%的碳点浓度做成的器件结果可使器件的光电流达到了375μA。当电极结构中叉指电极的电极对间距从500μm降低至100μm时,器件的光响应度提升到了3.87m A/W。