氧化物半导体纳米线肖特基势垒的调控及在气敏检测方面的研究

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基于肖特基势垒的器件在近年来展现出优异的性能,对势垒的调控和发展肖特基势垒器件在新领域中的应用是当今研究的热点。在本论文中,我们分别探索了几种有效调控势垒和光响应的方法,对p型氧化物半导体CuO纳米线的光电流产生机制进行探讨,并发展了一种基于光照的肖特基势垒器件在气敏检测方面的应用方法。在第一章中,我们对一维纳米光电子器件研究的现状,及基于肖特基势垒构筑的光电功能器件的现状、性能的调控等进行了介绍。并以此为基础,明确提出了本论文的选题、意义和主要研究内容。在第二章工作中,我们主要用电场组装的方法结合电沉积技术,在CuO纳米线背靠背肖特基势垒结构上沉积金属Cu,并通过烧结处理,使Cu氧化成CuO,处理后,电流增大约两个数量级,我们发现处理前后样品的电流传输特性都被镜像力模型下的势垒反向电流控制。处理后样品电流的增大主要是由于新的电流传输通道的形成,并且势垒比处理前降低了105meV,势垒降低的主要原因是由于在电沉积和高温退火的过程中CuO纳米颗粒的表面悬空Cu键被有效的钝化,从而部分消除了表面态。基于此方法我们对组装后的纳米线器件一端进行电沉积并高温退火,成功构筑较高开关比的二极管,电场组装和电化学沉积相结合为调控表面态和势垒高度提供了一个简单而有效的方法。另外,我们发现两端直径不对称的一维纳米结构构筑的器件有较高的整流比,为简易构筑肖特基二极管的提供一个新的方法。基于CuO表面氧吸附不显著的推测,我们在空气和高纯氮气环境中对纳米线器件的电输运性质和光电流随时间变化性能分别进行了测试,并且对其光电流的产生机制进行了分析,发现在空气中光电流的产生有两个阶段,对应于本征光电流和光致氧的吸附过程,发现器件的响应和回复时间都比较短。第三章工作中,基于羧基类化合物可以调控ZnO纳米器件的输运性质的报道,我们先用交流电场组装的方法构筑了单根CuO纳米线器件,然后用带有苯环的巯基类化合物对纳米线表面修饰敏化,结果表明敏化后暗态电流变小,势垒增大,但是光响应却显著增强。分析势垒变化的原因是由于敏化后在纳米线和电极界面处引入一个分子偶极层。相当于在原来纳米线的内建场的基础上叠加一个同向的电场,使势垒增高,同时也提高了内建场分离光生激子的效率;另外,敏化处理后SAMs在纳米线的表面形成有序排列苯环膜,这种有序排列的苯环分子由于π-π堆积能使电子在膜中以跃迁的形式运动。因此光生的电子能通过纳米线表面的SAMs层有效传输,同时光生的空穴能在体内通过未耗尽的核传输,然后在和电极接触处以隧穿方式转移到金属电极,使光响应增大。在第四章工作中,我们基于对肖特基势垒在气敏方面的优异性能的报道,结合我们前期在肖特基势垒器件方面的研究及光照可以提高纳米线表面催化活性考虑,我们计算了CuO纳米线器件的有效接触势垒高度,发现随着偏压的增大,有效势垒值减小。初步搭建了气敏检测的试验平台,研究了一维CuO和SnO2肖特基纳米线器件在室温和高温情况下、暗态和UV光照时对低浓度H2S气体的检测,结果发现对于CuO纳米器件,不加光时在室温和200℃时对低浓度的H2S气体均无响应,在光照时,室温下仍无响应,高温200℃时可以检测到电流的变化,而且随着H2S浓度的增大,电流的变化逐渐达到饱和。我们初步提出一个模型来解释响应的机理。而对于SnO2纳米线器件,室温暗态时对H2S气体没有响应,而250℃响应最大,可达到107.4%;对样品进行UV光照时,室温和高温时都大大提高了样品对气体的响应,其中在250℃响应可达797.1%,提高了七倍多,但是关于光照导致检测灵敏度的增强具体原因还在进一步探讨中。基于此研究希望发展一种在有氧和室温条件下工作的高性能气敏传感器。在第五章中,我们对本论文的工作进行了总结,并对纳米线肖特基势垒器件在气敏方面的进一步研究进行了展望。
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